晶圓片托架的落座檢測。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂。
獨(dú)有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式E3X-NA41F。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。種類：無螺釘夾具端子臺(tái)型，溫度輸入型。
本體：控制輸出1點(diǎn)型（電源AC/DC24V用）E3X-NA41F
外殼顏色：黑色。
控制輸出：電壓輸出（SSR驅(qū)動(dòng)用）。
控制模式：標(biāo)準(zhǔn)或加熱冷卻。
輔助輸出點(diǎn)數(shù)：2點(diǎn)。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流檢測功能：--。
事件輸入點(diǎn)數(shù)：--。
傳送輸出：--。
通信：RS-485。
48×24mm的通用溫控器已升級(jí)＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了預(yù)防維護(hù)功能，性能進(jìn)一步提升
提供端子臺(tái)型和無螺釘夾具端子臺(tái)型E3X-NA41F。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)
（自動(dòng)/手動(dòng)、RUN/STOP、報(bào)警發(fā)生），可交互顯示PV/SV。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計(jì)數(shù)功能，
可預(yù)防維護(hù)溫控器內(nèi)部繼電器。
3種顏色顯示切換當(dāng)前值（PV）。
適用支持軟件（CX-Thermo-Ver.4.2以上）。
可11段數(shù)字顯示。
提供報(bào)警輸出1點(diǎn)型和2點(diǎn)型。尺寸：M12（黃銅），單倍距離型，非屏蔽型。
檢測距離：5mm。
連接方式：導(dǎo)線引出型（電纜長度有2m和5m兩種）。
螺紋長度：長螺紋型。
輸出類型：PNP。
動(dòng)作模式NO。
樹立世界新標(biāo)準(zhǔn)的經(jīng)濟(jì)型接近傳感列產(chǎn)品種類齊全，
旨在以合理的價(jià)格滿足客戶對(duì)傳感器高品質(zhì)和高可靠性的要求E3X-NA41F。
我們不僅就防護(hù)等級(jí)(IP67)的特定項(xiàng)目對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行了測試，
還考慮作業(yè)現(xiàn)場的環(huán)境條件對(duì)其進(jìn)行了耐油霧測試。
在油霧濃度較高的環(huán)境下實(shí)施了仿真測試。尺寸：48×96mm。
控制輸出1：繼電器輸出（打開）。
控制輸出2：繼電器輸出（關(guān)閉）。
電源電壓：AC100～240V。
全新高亮LCD面板，字體更大，顯示更清一體化低功耗設(shè)計(jì)，
壽命更長久性能穩(wěn)定，
功能完善比例閥控制專用(部分型號(hào)具有無需電位計(jì)輸入的虛擬開度功能)
E5AC-PR-800的白光LCDPV顯示屏高度達(dá)到25mm，極大提高了可視性。
主體短小，徑深僅為60mm。
50ms高速采樣周期。采用可見光點(diǎn)的紅色LED 。
即使在遠(yuǎn)處也能一目目了然的大指示燈E3X-NA41F使用說明書。
提高操作性能(靈敏度調(diào)節(jié)旋鈕、動(dòng)作模式切換開關(guān)大型化化)E3X-NA41F使用說明書。
電源電壓：AC/DC自由電源型。
檢測方式：回歸反射型(無M.S.R.功能)。
檢測距離：紅外線7m（使用E39-R1時(shí)）。
檢測距離：紅外線11m（使用E39-R2時(shí)）。
輸出形式：PNP輸出。